行业痛点
半导体喷淋头(Showerhead)有成千上万个孔将气体分配到反应腔内，确保半导体材料与气体全面、均匀接触，进而提升生产效率及产品品质，这些孔需要大批量精密检测，传统测量方式效率低下或测量精度无法满足需求。
解决方案
方案主要由高精度线阵相机+AI算法技术+自动编程模块组成，可实现高效率高精度扫描，确保验证的时效性及准确性。
优势亮点
1、检测效率相比传统OMM提升30倍以上；
2、检测准确度可达±2~5μm（依据孔径公差要求选配相机）；
3、自动编程模块可满足海量尺寸快速编程需求；
4、强大AI算法技术，确保表面特征通过深度学习实现100%全自动测量。
半导体喷淋头系列产品
扫描观看视频案例
